У нас уже 17884 рефератов, курсовых и дипломных работ
Заказать диплом, курсовую, диссертацию


Быстрый переход к готовым работам

Мнение посетителей:

Понравилось
Не понравилось





Книга жалоб
и предложений

 





Название ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ПРОЦЕС ФОТОЛІТОГРАФІЇ НА СТРУКТУРІ ПРИЛАДУ Т 165
Количество страниц 45
ВУЗ Запорізький національний технічний університет
Год сдачи 2012
Содержание Зміст

Вступ………………………………………………………………………………. 4
1 Загальний розділ………………………………………………………………... 5
1.1 Короткі відомості про прилад МДД 8/3…………………………………….. 5
1.2 Теоретичні основи процесу термоміграції………………………………… 10
1.3 Призначення операції термоміграції………………………………………. 14
2 Технологічно-розрахунковий розділ………………………………………… 16
2.1 Технологічна схема виготовлення структури приладу Д 140……………. 16
2.2 Розрахунок дифузійної структури приладу Д 140………………………... 23
2.3 Визначення послідовності операцій процесу термоміграції…………….. 24
2.4 Розробка комплекту технологічної документації процесу термоміграції……….. 26
2.5 Устаткування для проведення процесу термоміграції …………………… 28
2.6 Охорона праці та техніка безпеки на дільниці термоміграції …………… 29
2.6.1 Техніка безпеки при роботі з електроустановками до 1000 В…………. 29
2.6.2 Правила техніки безпеки з хімічними реактивами……………………...30
2.6.3 Протипожежні заходи…………………………………………………….. 32
Висновки………………………………………………………………………… 35
Список літератури……………………………………………………………… 37
Додаток А – Графічні залежності для проведення розрахунків……………... 38
Додаток Б – Комплект технологічної документації…………………………... 42






Реферат

Пояснювальна записка до курсового проекту містить сторінок , таб¬лиці, рисунків, додатки, джерел літератури.
Об’єктом проектування є модуль МДД 8/3.
Мета роботи – дослідити технологічний процес термоміграції при створенні структури приладу Д 140.
Метод проектування – технологічно-розрахунковий.
Курсовий проект складається з двох розділів.
У загальному розділі описані загальні відомості про прилад МДД 8/3, теоретичні основи процесу термоміграції, призначення операції термоміграції.
Технологічно-розрахунковий розділ містить технологічну схему виготовлення структури приладу Д 140, розрахунок параметрів дифузійної структури приладу Д 140, визначення послідовності операцій процесу термоміграції, розробку комплекту технологічної документації, вибір устаткування для проведення процесу термоміграції та охорону праці на дільниці термоміграції.

СТРУКТУРА, ТЕРМОМІГРАЦІЯ, МОДУЛЬ, ТЕХНОЛОГІЧНИЙ ПРОЦЕС, УСТАТКУВАННЯ, ФОРМУВАННЯ ЗОН, РОЗДІЛЯЮЧА ОБЛАСТЬ, ГРАДІЄНТ ТЕМПЕРАТУР, p-n ПЕРЕХІД

Список литературы Висновки

В курсовому проекті був розглянутий напівпровідниковий модуль МДД 8/3 та технологічний процес виготовлення його структури (Д 140).
Конструктивно силовий напівпровідниковий модуль складається з пластмассового корпусу, металізованої основи, напівпровідникових структур, які влкючені послідовно і конструкційних елементів призначених для монтажу.
Під час виконання курсового проекту було визначено послідовність операцій технологічного процесу термоміграції, за якою складено комплект технологічної документації.
Термоміграція заснована на перекристалізації напівпровідникового матеріа-лу рідкою зоною розчину-розплаву в полі градієнта температури. Зона залишає за собою перекристалізований слід, однорідно легований атомами металу-розчинника до межі розчинності при температурі процесу. Тт쬬 = 1210 ºC, час процесу 3 години.
Процес термоміграції дозволяє вивести нижній випрямляючий p-n перехід на верхню сторону пластини за допомогою розділяючої p – області по периметру чіпа. Це забезпечує ефективний тепловідвід, спрощується процес контроля чіпів на пластині і пайка їх на основу, відсутня деградація зворотньої гілки ВАХ із-за механічних напружень в паяному шві.
В результаті розрахунку дифузійної структури приладу Д 140 були визначені основні параметри:
- концентрація домішки у вихідній пластині, Св, см -3
Св = 1014;
- концентрація алюмінію на поверхні пластини, Со, см-3
Со = 1,8•1019;
- коефіцієнт дифузії алюмінію при температурі 1250оС, D, см2/с
D = 3•10-11;
- глибина залягання р-n переходу, xjp, мкм
xjp = 84,6;



Процес термоміграції дозволив суттєво скоротити час створення розділяючої області, до 3 годин, в той час як дифузія проводилася б більш ніж 20 годин.
Курсовим проектом визначено перелік обладнання, яке застосовується на дільниці термоміграції і визначені його технологічні характеристики.
В курсовому проекті розроблено заходи з охорони праці та техніки безпеки на дільниці термоміграції, які дозволили створити безпечні умови праці для робі-тників.






Список літератури

1. Силові напівпровідникові прилади. Модулі 25 - 100 А.-Запоріжжя: Аль-фа-Омега, 2002.- 108с.
2. Лозовский В.Н., Лунин Л.С., Попов В.П. Зонная перекристализация градиентом температуры полупроводниковых материалов. М.: Металлургия, 1987. 233 с.
3. Полухин А. С., Зуева Т. К., Солодовник А. И. Использование термоми-грации в технологии структур силовых полупроводниковых приборов // Силовая электроника. 2006. № 3.
4. Полухин А. С., Жукова Л. В., Балюк А. В. Кремниевые структуры для СПП со сквозными разделительными р+-областями // Межвуз.сб. «Кристаллиза-ция и свойства кристаллов», 1989.
5. Моряков О.С. Будова і наладка устаткування напівпровідникового ви-робництва. М., В.Ш., 1989.
6. Желібо Є.П., Заверуха Н.М., Зацарний В.В. Безпека життєдіяльності : За ред. Желібо Є.П. і Пічі В.М. – Піча Ю. В., К.: «Каравела», Львів: «Новий Світ-2000», 2002.-328с.
7. Комплект технологічної документації до процесу термоміграції при створенні діодного чіпа модуля МДД 8/3. – Запоріжжя: ТОВ «Елемент-Перетворювач».


Стоимость доставки работы, в гривнах:

(при оплате в другой валюте, пересчет по курсу центрального банка на день оплаты)		 150





Найти готовую работу


ЗАКАЗАТЬ

Обратная связь:


Связаться

Доставка любой диссертации из России и Украины

Вход для партнеров

Регистрация

Восстановить доступ

Материал для курсовых и дипломных работ


Ссылки:

Выполнение и продажа диссертаций, бесплатный каталог статей и авторефератов

Счетчики:

Besucherzahler
счетчик посещений

© 2006-2024. Все права защищены.
Выполнение уникальных качественных работ - от эссе и реферата до диссертации. Заказ готовых, сдававшихся ранее работ.